首台（套）资助比例降至20%，深圳高端装备企业必看

(一)该扶持计划对围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备;曝光机等面板制造前、中道制程设备;超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床;高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器;重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目予以资助。

(二)资助方式为事后资助。

(三)资助标准为按项目总投资额的30%，最高给予300万元资助。

(四)资助的费用范围为项目总投资费用，主要由建设投资、研发费用构成。其中，建设投资主要包括因实施该项目而发生的设备及工器具(包括软、硬件)的购置、改造费，安装工程费以及必要的场地改扩建工程费。研发费用包括自主研发费用和委托开发费。自主研发费用主要是指因该项目实施必要的研发设备设施购置费、研发材料费、试产定型测试验证及其加工费、出版/文献/信息传播/知识产权费、专家咨询费、核心研发人员费(核心研发人员不超过5人;财政供养人员的工资性支出除外)。委托开发费用主要是指项目单位根据项目需要就部分委托研究开发所支付的费用。

(一)该扶持计划支持数控装备内置或兼容NC-Link互联通信协议标准，工业软件等适配NC-Link互联通信协议标准，形成有利于制造业数字化转型的统一标准;支持数字化工厂/车间应用NC-Link协议标准，形成基于NC-Link协议的工厂/车间数字化解决方案示范。

(二)资助方式为事后资助。

(三)资助标准为按照NC-Link互联通信协议相关部件和系统采购金额的50%给予最高100万元资助。

(一)该扶持计划鼓励企业将具备突破性、先进性的装备整机(含系统)、核心零部件申请纳入《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》。

(二)资助方式为事后资助。

(三)资助标准对研制符合首台(套)目录的产品的企业，按照两年内产品实际销售总额的20%给予最高1000万元资助。

(一)该扶持计划面向装备全生命周期共性服务需求，加快关键性、紧缺性公共服务供给。支持建设机器人检测认证公共服务平台、机床加工工艺服务平台、精密仪器校准检测平台、轨道交通装备检测认证服务平台等。

(二)资助方式为事后资助

(三)资助标准为对符合条件的平台，按照不超过投资额的30%，给予最高1000万元资助。